1. 空气源臭氧发生器系统

空气源臭氧发生器系统是指以空气为原料，经过多道工艺干燥处理后的空气送入臭氧合成系统产生臭氧的装置。

压缩机 → 冷凝器 → 贮气罐 → 水过滤器 → 油过滤器 → 冷干机

水过滤器 → 油过滤器 → 干燥机 → 粉尘过滤器 → 换热器 → 减压阀

流量计 → 臭氧合成

技术指标：空气露点 -45 ℃ 粉尘 >0.01ppm

2. 臭氧发生器富氧源系统（ ups ）是指空气经过压缩干燥处理后，经（ VPS ）富氧受压吸附产量一定纯度的氧气送入臭氧合成系统的装置。

压缩机 → 冷凝器 → 贮气罐 → 水过滤器 → 油过滤器 → 冷干机

水过滤器 → 油过滤器 → 富氧机 → 粉尘过滤器 → 换热器 → 减压阀

流量汁 → 臭氧合成

技术指标：气源露点＜ -50 ℃ 氧气纯度 60%--90% 粉尘 >0.01ppm

3. 臭氧发生器纯氧源系统：液态氧经汽化器汽化、气源处理系统处理后，送入臭氧合成系统的装置。

液氧贮罐 → 汽化器 → 减压阀 → 过滤器 → 流量计 → 臭氧合成

上述设备的设计和选型应根据臭氧系统产量和臭氧浓度指标及系统运行条件来细心选型确定。