电源系统是臭氧合成过程中最关健的部分，电源系统不仅与臭氧系统稳定可靠工作有关，而且与臭氧合成效率运行成本有关。臭氧电源目前运行的有：工频电源、中频电源、高频电源三种。

1. 工频电源系统

市电 → 控制柜 → 电压调器 → 高压变压器 → 高压

2. 中频电源系统

市电 → 控制柜 → 整流器 → 变频器 → 电抗器 → 高压变压器 → 高压 cpu

中频电源频率般在 400—800Hz 之间，分固定中频和可调中频两种。

大功率器件为可控硅 IGBT 。

3. 高频电源系统

市电 → 控制柜 → 整流器 → 变频器 → 电抗器 → 高压变压器 → 高压 cpu

高频电源一般指频率在 1000Hz 以上, 分固定中频和可调中频两种, 大功率器件为可控硅 IGBT 。