此方法是光波中的紫外光会使氧气分子 O2 分解并聚合成臭氧 O3 ，大气上空的臭氧层即是由此产生的。

波长 λ ＝ 185nm(10 -9 m) 的紫外光效率最高，此时，光量子被 O2 吸收率最大。其反应基本过程为：

O2 ＋ hr→ O+O

O2 +O+M→ O3 +M

hr －紫外光量子

M －存在的任何惰性物体，如反应器器壁、氮、二氧化碳气体分子等。

使用 185nm 紫外光产生臭氧的光效率为 130gO3 /kw·h ，是比较高的。但目前低压汞紫外灯的电－光转换效率很低，只为 0.6 ％～ 1.5 ％，则紫外法产生臭氧的电耗高达 600kwh/kgO3 ，即 1.5gO3 /kw · h ，工业应用价值不大。

紫外法产生臭氧的优点是对湿度、温度不敏感，具有很好的重复性；同时，可以通过灯功率线性控制臭氧浓度、产量。这两个特性对于臭氧用于人体治疗与作为仪器的臭氧标准源是非常合适的。